초임계 유체를 이용한 SiC 복합재 제조용 SiC 전구체 충진 장치 및 방법

Apparatus and method of filling silicon carbide precursor for manudacturing silicon carbide composite using supercritical fluid

Abstract

초임계 유체를 이용한 SiC 전구체 충진 장치 및 방법에 대하여 개시한다. 본 발명에 따른 SiC 전구체 충진 방법은 (a) SiC 전구체를 초임계 상태의 유체에 용해시키는 단계; (b) SiC와 복합재를 형성하는 물질이 배치된 반응부 내부에, 상기 SiC 전구체가 용해된 초임계 상태의 유체를 공급하여, 상기 SiC와 복합재를 형성하는 물질 내부에 상기 SiC 전구체가 용해된 초임계 상태의 유체를 침투시키는 단계; (c) 상기 반응부 내부를 감압하여 상기 초임계 상태의 유체를 기체 상태로 상변화시킴으로써 상기 SiC 전구체의 용해도 감소를 통하여 상기 SiC와 복합재를 형성하는 물질 내부에 SiC 전구체를 석출하는 단계; 및 (d) 상기 SiC와 복합재를 형성하는 물질 내부에 석출된 SiC 전구체를 제외한 나머지 SiC 전구체와 유체를 배출하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

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