Structures incorporating silicon nanoparticle densified silicon materials from nanoparticle silicon deposits and corresponding methods

실리콘 나노입자 잉크를 포함하는 구조체, 나노입자 실리콘 데파짓으로부터 얻어진 조밀화된 실리콘 물질 및 이들의 제조방법

Abstract

실리콘 나노입자는 원하는 소재를 제조하기 위한 기초를 제공한다. 구체적으로, 비정질 실리콘 매트릭스에 매립된 실리콘 나노입자를 포함하는 박층에 복합재가 생성되었으며, 비교적 저온에서 생성될 수 있다. 상기 복합재를 가열하여 비막대 형상의 결정을 포함하는 나노결정질 소재를 형성할 수 있다. 상기 미세결정질 소재는 바람직한 전도성을 가질 수 있으며, 이 소재는 높은 도펀트 수준으로 생성될 수 있다. 또한, 나노결정질 실리콘 펠렛이 잉크로부터 도포된 실리콘 나노입자로부터 생성될 수 있으며, 이 펠렛은 벌크 실리콘보다 덜 조밀하지만 비교적 조밀할 수 있다. 상기 펠렛은 실리콘 나노입자층에 열 및 압력을 가하여 생성할 수 있다.

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